石英片镀膜要注意什么?

今天和大家简单谈谈关于石英片磁控溅射镀膜需要注意什么。

一、优点

1、一般备有辅助离子源,可以用来清洗石英片,清洗效果好;

2、由于装有中和器,也可以用来制备绝缘膜层;

3、易于制备熔点高的材料;

4、制备合金膜层,可以保证膜层材料比例与靶材相同;

5、靶材粒子能量高(比热蒸发高出1个数目级),所制备膜层更致密,与石英片结协力更高


石英片



二、缺点

1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁;

2、一般镀膜速率较慢,每秒几十埃;

3、不适宜制备较大面积薄膜。

三、机器运行时的注意事项

1、关注真空度指标;

2、保持机器内舱各部位的清洁;

3、测试并记录镀好的石英振子主要指标,如:频率、电阻、DLD等;

4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度;

5、根据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;

6、检查并记录抽真空的时间,如有延长,立刻检查造成的原因;

7、将不良品挑出:电极错位、划伤、脏污、掉银等。


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